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至此！
他掌握了整个实验室所有仪器及试剂的使用...
「时间紧急，马上开始！」
要想让『极紫外光』应用于光刻机，不仅仅是产生光源这麽简单。
事实上，极紫外光的产生，从来不是难点。
真正的难点在于如何保证极紫外光产生后，通过一整套复杂装置，作用于晶片上。
要知道，EUV光刻机采用的是波长为13.5nm的极紫外光，其光子能量达到92eV，是DUV深紫外光（193nm）的14倍。
所有材料在13.5nm波长下都会出现强吸收效应，这就使得传统透射式光学系统完全失效。
因此，EUV系统就必须完全采用全反射式的光路设计，甚至其反射镜面形精度要达到原子级要求
此外，极紫外光刻技术还涉及多层膜反射镜技术丶雷射激发等离子体方案丶超高真空环境运行丶热管理丶新型光刻胶体系以及计量与检测技术的纳米级突破等核心技术。
整套装置涉及378项尖端专利！
且不说这些专利都是秘密，就算公开，龙国想要使用，也得支付惊人的专利使用费，比单纯买光刻机贵好几百倍。
没有人甚至没有哪个国家，能单独绕过这些专利，独立生产出精密光刻机的极紫外光发射部分。
韦神也只敢研究其中很小的一部分。
饶是这样，也足以让他被困在这领域近十年，焦虑到经常酗酒。
对于林元来说，他虽已经有了完整的设计，但需要得到的数据太多太繁杂。
五天根本不够！
于是乎——
他只能选择先从尖端技术开始，剩下技术含量稍弱丶用不到尖端仪器的部分慢慢搞。
「林元，你干什麽？这台仪器造价八千万呢！」见林元走到一台精密仪器前，柳瑶瑶赶忙跑过来。
「没问题，我会很小心的。」林元给了她一个宽慰的眼神，而后启动电源键。
嘀嘀嘀——
仪器屏幕闪烁不停，紧接着出现一把电子锁图案，并要求输入密码。
林元尝试着输入000000/888888等傻瓜密码，皆显示错误，脸庞当即黑了起来。
好家夥，这是在防贼呢！
「好了...好了，我们来做简单的置换反应实验吧。」柳瑶瑶心中一松，笑着拉着林元的胳膊。
尖端仪器上了锁，她再也不担心林元损坏赔偿了。
林元站在仪器前，不愿离开。
只见他眉头紧皱，思索了几秒，一手摁住电源键，一手触摸仪器屏幕。
咔丶咔——
在又一次打开电源键的同时，手指在屏幕上昏点，几秒钟内，点了上百下！
然后...然后一拳挥出，屏幕应声而碎，玻璃渣子横飞。
柳瑶瑶与顾佳双目瞪圆，惊讶得合不拢嘴。
林元则微微一笑：「果不其然，真能硬解，这方法恐怕连仪器研发工程师都不清楚。」
啪啪啪——
硬解掉电子锁后，林元双手五指狂舞，在仪器按键上疯狂点击。
半个小时后，一大摞宛若外星文字的数据图表，被一旁的高速印表机列印出来。
林元满意一笑，走到另一台仪器前，又一次暴力解锁。
顾佳与柳瑶瑶噤若寒蝉，瑟瑟发抖。
「完了，完蛋了！」
未完待续——————————————
𝟐 ❻ 𝟐 𝑋 🅢 . ℂo 𝑀